Американская компания Boston MicroSystems представила свое очередное достижение в области миниатюризации - нагревательный элемент из карбида кремния, способных практически мгновенно нагреваться до температуры в 1100°C. Размеры нагревателей составляют от 48 до 128 мкм, но в среднем "плитки" имеют размер 100 x 100 мкм. Время реакции на управляющее воздействие не превышает 1 мс. Благодаря своим компактным размерам нагреватель Boston MicroSystems умещается на поверхности управляющей микросхемы вместе с необходимой теплоизоляцией.

Микронагреватель из карбида кремния

Сфера применения нового микроустройства может быть самой широкой. Это и микрореакторы для химических исследований in situ, и системы для исследования физико-химических процессов в тонких пленках. В каждый миниатюрный нагревательный элемент встроен датчик температуры и пара электродов, что позволяет отслеживать интенсивность нагрева и изучать электрические свойства нанесенного на нагревательный элемент материала. При необходимости микронагреватели могут объединяться в массивы, что позволит изучать более крупные объекты. Специалисты компании уже создали на базе своего изобретения микролабораторию - камеру из поликарбонатного материала, в которой расположен массив нагревательных элементов и управляющая микросхема. Исследования в камере могут вестись как под давлениям, так и в вакууме.

Еще одной сферой применения новой разработки являются разнообразные датчики и системы химического анализа. Важным преимуществом здесь являются как малые размеры и энергопотребление устройств, так и химическая инертность карбида кремния. Сотрудники Boston MicroSystems уже разрабатывают датчики для определения концентрации кислорода и определения состава автомобильных выхлопных газов.